試料形状に影響されずに表面抵抗率[Ω／▢]、体積抵抗率[Ω･cm ]を精密測定

• 導電性フィルムや金属・ＩＴＯ薄膜などの膜厚・組成バラつきが一目瞭然
• ３００ｍｍ角までの試料のマッピングや複数枚試料の連続測定も可能
• ロレスタＧＸと接続し、１０-4から１０+7Ωレンジまで測定可能
• 測定、演算、データ処理、３次元グラフ出力までを完全自動化

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導電性フィルムや金属・ＩＴＯ薄膜などの膜厚・組成バラつきが一目瞭然

• 表示デバイス（液晶や有機ＥＬ）に高速応答、精細化の要求があり、電極基板の均一性が更に重要になった。
• 表面抵抗率は材質に依存する。材質が均一な場合には、膜が厚いと表面抵抗率は小さくなる。
• 薄膜分野では表面抵抗率マッピングする事で膜厚バラつきを評価する。

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