ＩＴＯ膜、各種金属薄膜等の膜厚分布や転写ベルトの抵抗率分布の測定に適しています。

• 測定・演算・データ処理・３次元グラフ出力を自動化しできます。
  （基板サイズは最大６５０×６５０ｍｍまで対応可能です。）
• ［Ω］、［Ω／□］、［Ωｃｍ］、［Ｓ／ｃｍ］を３次元グラフ表示します。
• 測定位置設定は、ワンタッチで格子入力、逐次入力の３通りが可能です。
• 研究開発からラインでの抜き取り検査まで幅広く御活用いただけます。
• 低抵抗率から高抵抗率まで２タイプあります。