抵抗率計

ロレスタ-GXⅡ MCP-T710 低抵抗 抵抗率計

低抵抗率計 ロレスタGXⅡ


ロレスタ-GXⅡは、材料の評価基準の一つである抵抗率の測定を行う計測器です。

 科学技術の発達とともに、研究開発はもちろん、生産技術、品質管理の分野でますます厳密な高い精度の材料の管理が、短時間で、簡単にできることが求められるようになりました。その中で材料の状態・性質を示す指標として抵抗率(表面、体積、導電率)があります。この抵抗率を補正係数を用いて簡単に精度よく測定が出来る装置がロレスタ-GXⅡです。

   本装置はJIS K 7194に準拠した測定法になっており、各種プローブにより導電性プラスチック、ITO薄膜、シリコンウェーハなど幅広い材料の測定が可能です。

   従来の4端子法とは異なり、測定対象への電極作製を必要とせず、当社の用意する各種4探針プローブを使用することで、ワンタッチで抵抗率測定が可能です。

主な測定対象

■導電性プラスチック、電磁波シールド材料、シリコンウェーハ、導電性ゴム、
導電性塗料、ペースト、インキ、金属系薄膜、ITOガラス、フィルム等


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必要なときに、必要なところで、低抵抗領域の表面抵抗率、体積抵抗率(比抵抗)、導電率を高精度に測定可能です。

  • 測定レンジを10-4~107ΩとロレスタGP(10-3~107)に比べて拡大
  • 電流の向きを変更することによりシリコンウェーハの測定が可能
  • 定電流可変機能(微小電流によるサンプル測定が可能)
  • 2000件の測定結果をUSBメモリに出力可能
  • タッチパネルの採用による操作性が向上


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プローブ ※GXのプローブはGXⅡに接続することができません。

名称 / 製品略号
ASPプローブ GX,GP用
RMH110
ASRプローブ GXⅡ用
RMH501

仕様
JIS K 7194対応
ピン間:5mm
ピン先:0.37R×4本
バネ圧:220g/本
用途
導電性プラスチック、導電性塗料、薄膜など
特長
JIS K7194対応の標準プローブです。



名称 / 製品略号
ESPプローブ GX,GP用
RMH114
ESRプローブ GXⅡ用
RMH502

仕様
ピン間:5mm
ピン先:φ2mm×4本
バネ圧:230g/本    
用途
カーボン粉、金属粉などを混ぜた導電性プラスチックのような不均一試料(特に射出成形品)
特長
ピン先端が直径2 mmの面状のため、印可電流が流れやすいです。



名称 / 製品略号
LSPプローブ GX,GP用
RMH116
LSRプローブ GXⅡ用
RMH503

仕様
ピン間:5mm
ピン先:球D2mm×4本
バネ圧:140g/本  
用途
導電性ゴム、フィルム上の薄膜など柔らかい試料
特長
ピン先端が直径2 mmの球状、かつバネ圧力が弱いため、ピンがゴムにめり込みにくいです。



名称 / 製品略号
PSPプローブ GX,GP用
RMH112
PSRプローブ GXⅡ用
RMH504

仕様
ピン間:1.5mm
ピン先:0.26R×4本
バネ圧:95g/本
用途
薄膜、小さい試料、狭い場所
特長
薄膜用の標準プローブでピンが細く、ピン間の距離は1.5 mmです。



名称 / 製品略号
QP2プローブ GX,GP用
RMH119
QRプローブ GXⅡ用
RMH505

仕様
ピン間:1.5mm
ピン先:0.26R×4本
バネ圧:95g/本
用途
特に小さい試料や狭い場所
用途
スクエアタイプ。直列4ピンと比べて抵抗値が約半分、ハンディータイプでは補正係数対応不可のため、お勧めしておりません。



名称 / 製品略号
BSPプローブ GX,GP用
RMH111
BSRプローブ GXⅡ用
RMH506

仕様
ピン間:2.5mm
ピン先:0.37R×4本
バネ圧:170g/本

用途
離れた2点間の測定や表裏間の測定(層間抵抗)
用途
4ピンを2本に分割、テスターのように右手と左手で1本ずつ持って測定します。本体はGXⅡの方がフットスイッチが使えて便利です。

注)抵抗率の測定はできません



名称 / 製品略号
NSCPプローブ GX,GP用
RMJ202
NSCRプローブ GXⅡ用
RMH507

仕様
ピン間:1.0mm
ピン先:0.04R×4本
バネ圧:250g/本
用途
シリコンウエハー専用、セラミックなど硬く表面が滑らかな試料
用途
ピン材質はタングステンカーバイドで先端が鋭利かつバネ圧力が強いタイプです。



名称 / 製品略号
TFPプローブ GX用
RMJ217(販売終了)

仕様
ピン間:1.0mm
ピン先:0.15R×4本
バネ圧:50g/本
用途
シリコンウェハ用又はガラス基板上の薄膜用



名称 / 製品略号
AP2プローブ GX,GP用
RMH333
ARプローブ GXⅡ用
RMH508

仕様
ピン間:10mm
ピン先φ2×2本
バネ圧:230g/本
用途
表面処理鋼板、マグネシウム合金など化成処理被膜
用途
2端子法で接触抵抗も含んだ測定のため、高い抵抗値となります。抵抗値が正しくないので、抵抗率換算はしません。主に定性評価用です。
注)抵抗率の測定はできません



名称 / 製品略号
BPプローブ GX,GP用
RMH118
BRプローブ GXⅡ用
RMH509

仕様
ピン先:φ2×2本
バネ圧:200g/本
用途
2探針プローブ
表面処理鋼板、マグネシウム合金など化成処理被膜の離れた2点間の測定
用途
2端子法で接触抵抗も含んだ測定のため、高い抵抗値となります。抵抗値が正しくないので、抵抗率換算しない。主に定性評価用です。
注)抵抗率の測定はできません



注)BSRプローブ、ARプローブ、BRプローブは、抵抗値のみの測定にご使用頂けます。

プローブチェッカー

名称 / 製品略号
プローブチェッカー
RMH304

抵抗値
1.0Ω
用途
ASR/ESR/LSR/ASP/ESP/LSP用



名称 / 製品略号
プローブチェッカー
RMH311

抵抗値
1.0Ω
用途
PSR/PSP用



名称 / 製品略号
プローブチェッカー
RMH313

抵抗値
1.0Ω
用途
QR/QP2用



名称 / 製品略号
プローブチェッカー
RMH312

抵抗値
1.0Ω
用途
NSCR/NSCP/TFP用



名称 / 製品略号
プローブチェッカー
RMH335

抵抗値
1.0Ω
用途
AR/BR/AP/BP用



名称 / 製品略号
フットスイッチ
RMJ802

用途 / 仕様
測定開始/測定終了 スイッチ
又はスタートロック解除機能



仕様

測定方式 定電流印加方式/四探針方式
データ表示 640×480ドット 7.5インチフルカラーTFT液晶タッチパネル
コンバレータ 上限値、下限値それぞれ設定可能
プローブ 専用プローブ ASR、LSR、ESR、PSR、QR、BSR、NSCR、AR、BR
データ出力 USBメモリ
電源 AC85~264V 47~63Hz
寸法・重量 W320×D285×H110mm<br>(収納ボックスオープン時 W320×D285×H200mm) 約2.4kg
標準装備 ASRプローブ、4ピンプローブチェッカー

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測定レンジと真度

定電流値
1A 100mA 10mA 1mA 100μA 10μA




10-4 ±(2.0%+30dgt)          
10-3 ±(2.0%+20dgt) ±(2.0%+20dgt)        
10-2 ±(1.0%+ 5dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)      
10-1 ±(1.0%+ 3dgt) ±(1.0%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)    
100   ±(0.5%+ 3dgt) ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)  
101     ±(0.5%+ 3dgt) ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)
定電流値
1mA 100μA 10μA 1μA 0.1μA




102 ±(0.5%+ 3dgt) ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)  
103   ±(0.5%+ 3dgt) ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)
104     ±(0.5%+ 3dgt) ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt)
105       ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 3dgt)
106         ±(1.0%+ 3dgt)
107         ±(2.0%+ 5dgt)

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