抵抗率計

ロレスタ-GX MCP-T700 低抵抗 抵抗率計

低抵抗率計 ロレスタGX


ロレスタ-GXは、材料の評価基準の一つである抵抗率の測定を行う計測器です。

 科学技術の発達とともに、研究開発はもちろん、生産技術、品質管理の分野でますます厳密な高い精度の材料の管理が、短時間で、簡単にできることが求められるようになりました。その中で材料の状態・性質を示す指標として抵抗率(表面、体積、導電率)があります。この抵抗率を補正係数を用いて簡単に精度よく測定が出来る装置がLoresta-GXです。

   本装置はJIS K 7194に準拠した測定法になっており、各種プローブにより導電性プラスチック、ITO薄膜、シリコンウェーハなど幅広い材料の測定が可能です。

   従来の4端子法とは異なり、測定対象への電極作製を必要とせず、当社の用意する各種4探針プローブを使用することで、ワンタッチで抵抗率測定が可能です。

主な測定対象

■導電性プラスチック、電磁波シールド材料、シリコンウェーハ、導電性ゴム、
導電性塗料、ペースト、インキ、金属系薄膜、ITOガラス、フィルム等


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必要なときに、必要なところで、低抵抗領域の表面抵抗率、体積抵抗率(比抵抗)、導電率を高精度に測定可能です。

  • 測定レンジを10-4~107ΩとロレスタGP(10-3~107)に比べて拡大
  • 電流の向きを変更することによりシリコンウェーハの測定が可能
  • 定電流可変機能(微小電流によるサンプル測定が可能)
  • 従来のロレスタGPのプローブが使用可能
  • 2000件の測定結果をUSBメモリに出力可能
  • タッチパネルの採用による操作性が向上


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プローブ

名称 / 型式/ 製品略号
ASPプローブ
MCP-TP03P
RMH110

仕様
JIS K 7194対応
ピン間:5mm
ピン先:0.37R×4本
バネ圧:210g/本
用途
利用範囲の広い標準プローブ



名称 / 型式/ 製品略号
ESPプローブ
MCP-TP08P
RMH114

仕様
ピン間:5mm
ピン先:φ2mm×4本
バネ圧:240g/本    
用途
不均一なサンプル



名称 / 型式/ 製品略号
LSPプローブ
MCP-TPLSP
RMH116

仕様
ピン間:5mm
ピン先:球D2mm×4本
バネ圧:130g/本  
用途
柔らかいサンプル



名称 / 型式/ 製品略号
PSPプローブ
MCP-TP06P
RMH112

仕様
ピン間:1.5mm
ピン先:0.26R×4本
バネ圧:70g/本
用途
小さいサンプル又は薄膜用



名称 / 型式/ 製品略号
QP2プローブ
MCP-TPQP2
RMH119

仕様
ピン間:1.5mm
ピン先:0.26R×4本
バネ圧:70g/本
用途
微小サンプル、スクエアタイプ



名称 / 型式/ 製品略号
BSPプローブ
MCP-TP05P
RMH111

仕様
ピン間:2.5mm
ピン先:0.37R×4本
バネ圧:210g/本

用途
大きいサンプル

注)抵抗率の測定はできません



名称 / 型式/ 製品略号
NSCPプローブ
MCP-NSCP
RMJ202

仕様
ピン間:1.0mm
ピン先:0.04R×4本
バネ圧:250g/本
用途
シリコンウェハ用



名称 / 型式/ 製品略号
TFPプローブ
MCP-TFP
RMJ217

仕様
ピン間:1.0mm
ピン先:0.15R×4本
バネ圧:50g/本
用途
シリコンウェハ用又はガラス基板上の薄膜用



名称 / 型式/ 製品略号
AP2プローブ
MCP-TPAP2

仕様
ピン間:10mm
ピン先φ2×2本
バネ圧:240g/本
用途
標準2探針プローブ

注)抵抗率の測定はできません



名称 / 型式/ 製品略号
BPプローブ
MCP-TPBP
RMH118

仕様
ピン先:φ2×2本
バネ圧:240g/本
用途
2探針プローブ
大きいサンプル用

注)抵抗率の測定はできません



注)BSPプローブ、AP2プローブ、BPプローブは、抵抗値のみの測定にご使用頂けます。

プローブチェッカー

名称 / 型式/ 製品略号
プローブチェッカー
MCP-TRF1
RMH304

抵抗値
1.0Ω
用途
ASP/ESP/LSP用



名称 / 型式/ 製品略号
プローブチェッカー
MCP-TRPS
RMH311

抵抗値
1.0Ω
用途
PSP用



名称 / 型式/ 製品略号
プローブチェッカー
MCP-TRQP2
RMH313

抵抗値
1.0Ω
用途
QP2用



名称 / 型式/ 製品略号
プローブチェッカー
MCP-TRTF
RMH312

抵抗値
1.0Ω
用途
NSCP/TFP用



名称 / 型式/ 製品略号
プローブチェッカー
MCP-TRT2
RMH335

抵抗値
1.0Ω
用途
AP/BP用



名称 / 型式/ 製品略号
フットスイッチ
MCP-FS02
RMJ802

用途 / 仕様
測定開始/測定終了 スイッチ
又はスタートロック解除機能



名称 / 型式/ 製品略号
レジテーブルUFL
MCP-ST03
RMJ354

用途 / 仕様
測定ステージ
W300×D200×H10mm



名称 / 型式/ 製品略号 外観図 用途 / 仕様

レジテーブルUFL
MCP-ST03
RMJ354

  測定ステージ
W300×D200×H10mm

仕様

測定方式 定電流印加方式/四深針方式
データ表示 640×480ドット 7.5インチフルカラーTFT液晶タッチパネル
コンバレータ 上限値、下限値それぞれ設定可能
プローブ 専用MCPプローブ ASP、LSP、ESP、PSP、QP2、BSP、NSCP、TFP、AP2、BP
データ出力 USBメモリ
電源 AC85~264V 47~63Hz
寸法・重量 W320×D285×H110mm<br>(収納ボックスオープン時 W320×D285×H200mm) 約2.4kg
標準装備 ASPプローブ、4ピンプローブチェッカー

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測定レンジと真度

定電流値
1A 100mA 10mA 1mA 100μA 10μA




10-4 ±(2.0%+30dgt)          
10-3 ±(2.0%+20dgt) ±(2.0%+20dgt)        
10-2 ±(1.0%+ 5dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)      
10-1 ±(1.0%+ 3dgt) ±(1.0%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)    
100   ±(0.5%+ 3dgt) ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)  
101     ±(0.5%+ 3dgt) ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)
定電流値
1mA 100μA 10μA 1μA 0.1μA




102 ±(0.5%+ 3dgt) ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)  
103   ±(0.5%+ 3dgt) ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt) ±(2.0%+20dgt)
104     ±(0.5%+ 3dgt) ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 5dgt)
105       ±(0.5%+ 3dgt) ±(1.0%+ 3dgt)
106         ±(1.0%+ 3dgt)
107         ±(2.0%+ 5dgt)

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